เมื่อพระผู้มีพระภาค ตรัสพระโอวาทประทานเป็นวาระสุดท้ายเพียงเท่านี้แล้ว ก็หยุด มิได้ตรัสอะไรอีกเลย ทรงทำปรินิพพานบริกรรมด้วยอนุปุพพวิหารสมาบัติทั้ง ๙ โดยอนุโลมเป็นลำดับดังนี้ คือ-
      ทรงเข้าปฐมฌาน ออกจากปฐมฌาณแล้ว
      ทรงเข้าทุติยฌาน ออกจากทุติยฌานแล้ว
      ทรงเข้าตติยฌาน ออกจากตติยฌานแล้ว
      ทรงเข้าจตุตถฌาน ออกจากจตุตถฌานแล้ว
      ทรงเข้าอากาสานัญจายตนะ ออกจากอากาสานัญจายตนะแล้ว
      ทรงเข้าวิญญาณัญจายตนะ       ออกจากวิญญาณัญจายตนะแล้ว
      ทรงเข้าอากิญจัญญายตนะ       ออกจากอากิญจัญญายตนะแล้ว
      ทรงเข้าเนวสัญญานาสัญญายตนะ       ออกจากเนวสัญญานาสัญญายตนะแล้ว
      ทรงเข้าสัญญาเวทยิตนิโรธ       สมาบัติที่ ๙

              สัญญาเวทยิตนิโรธนี้ มีอาการสงบที่สุด ถึงดับสัญญาและเวทนา ไม่รู้สึกทั้งกายทั้งใจทุกประการ แม้ลมหายใจเข้าออกก็หยุด สงบยิ่งกว่านอนหลับ ผู้ไม่คุ้นเคยกับสมาบัตินี้ อาจคิดเห็นไปว่าตายแล้ว ดังนั้นพระอานนท์เถระเจ้า ผู้นั่งเฝ้าดูพระอาการอยู่ตลอดทุกระยะ ได้เกิดวิตกจิต คิดว่า พระบรมศาสดาคงจะเสด็จนิพพานแล้ว จึงได้เรียนถามพระอนุรุทธเถระเจ้า ผู้เชี่ยวชาญในสมาบัตินี้ว่า "ข้าแต่ท่านอนุรุทธ พระบรมศาสดาเสด็จนิพพานแล้วหรือยัง"

              "ยัง ท่านอานนท์ ขณะนี้พระบรมศาสดากำลังเสด็จอยู่ในสัญญาเวทยิตนิโรธสมาบัติ" พระอนุรุทธบอก

              ครั้นพระผู้มีพระภาคเจ้า เสด็จอยู่ในสัญญาเวทยิตนิโรธสมาบัติ ตามเวลาที่พระองค์ทรงกำหนดแล้ว ก็เสด็จออกจากสัญญาเวทยิตนิโรธสมาบัติ เข้าเนวสัญญานาสัญญายตนะ ออกจากเนวสัญญานาสัญญายตนะ ถอยออกจากสมาบัตินั้นโดยปฏิโลมเป็นลำดับจงถึงปฐมฌาน
      ต่อนั้นก็ออกจากปฐมฌานแล้ว      ทรงเข้าทุติยฌาน อีกวาระหนึ่ง
      ออกจากทุติยฌานแล้ว       ทรงเข้าตติยฌาน
      ออกจากตติยฌานแล้ว       ทรงเข้าจตุตถฌาน
      เมื่อออกจากจตุตถฌานแล้ว ก็เสด็จปรินิพพาน ณ ปัจฉิมยามแห่งราตรีวิสาขะปุรณมี เพ็ญเดือน ๖ มหามงคลสมัย ด้วยประการฉะนี้

              ครั้นพระผู้มีพระภาคเจ้าเสด็จปรินิพพานแล้ว ก็บังเกิดมหัศจรรย์ แผ่นดินไหวกลองทิพย์ก็บันลือลั่น กึกก้องด้วยสัททสำเนียงเสียงสนั่นในนภากาศ เป็นมหาโกลาหล ในปัจฉิมกาล พร้อมกับขณะเวลาปรินิพพานของสมเด็จพระอรหันตสัมมาสัมพุทธเจ้า ผู้เป็นนาถะของโลก